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內容簡介: |
《现代光电测试技术》以光电被测对象为主线,较全面地介绍了光学量和几何量测量中所涉及的基本理论,主要测量原理、方法,主要测量仪器的组成及主要技术特点。
《现代光电测试技术》与常规以原理和技术为主线的写法不同,而是以应用对象为主线,将原理各不相同的测试方法联系起来,便于各方法之间的分析比较,突出将理论应用到实际中,注重对工程思维培养。
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目錄:
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第一章 绪论
1.1 精密测试的意义和特点
1.2 精密测试基础
1.2.1 基本概念
1.2.2 基本构成
1.3 光电测试技术的发展
参考文献
第二章 光电测试的基础理论
2.1 干涉原理
2.1.1 光波叠加
2.1.2 干涉条件
2.1.3 影响条纹对比度的因素
2.2 激光多普勒原理
2.2.1 多普勒频移原理
2.2.2 激光多普勒频移测量
2.2.3 小结
2.3 差分与斜率测量原理
2.3.1 斜率测量原理
2.3.2 差分测量原理
2.3.3 波前重构算法
2.4 三角测量原理
2.4.1 直射式激光三角法
2.4.2 斜射式激光三角法
2.4.3 直射式与斜射式特点比较
2.5 莫尔测量原理
2.5.1 莫尔测量基础
2.5.2 莫尔条纹测长原理
参考文献
第三章 长度测量
3.1 长度基准回顾
3.1.1 长度基准的沿革
3.1.2 米定义复现方法
3.2 柯氏干涉仪测长
3.2.1 柯氏干涉仪光路
3.2.2 传统柯式干涉仪测长原理
3.2.3 柯式干涉仪的改进
3.3 激光多普勒测量技术
3.4 双频激光干涉测量技术
3.5 绝对距离干涉测量
3.5.1 合成波长法
3.5.2 激光调频测距
3.5.3 波长扫描干涉测试技术
3.5.4 光频梳绝对距离测量
3.6 三角法测距
参考文献
第四章 波前误差测量
4.1 移相干涉测量
4.1.1 移相干涉技术的原理
4.1.2 相位解包裹
4.1.3 移相干涉技术的特点
4.1.4 常见的移相方法
4.1.5 移相干涉技术的应用
4.2 同步移相干涉测量
4.2.1 同步移相干涉测量的系统组成
4.2.2 同步移相干涉测量的抗振技术研究
4.2.3 典型的同步移相干涉系统
4.3 夏克一哈特曼自基准测量技术
4.3.1 夏克一哈特曼测量原理
4.3.2 自基准哈特曼检测
4.4 波前重构方法
4.4.1 区域法重构波前
4.4.2 模式法重构波前相位
4.5 相位恢复技术
4.5.1 相位恢复基本原理
4.5.2 相位恢复基本模型
4.5.3 G-S算法
4.5.4 相位变更相位恢复模型
4.5.5 光强探测和PDPR模型中的离散采样
4.5.6 基于迭代变换的PDPR算法
4.5.7 基于参数最优化的PDPR算法
参考文献
第五章 形貌测量
5.1 单点扫描三角测量法
5.2 激光束偏转法
5.2.1 平移法
5.2.2 转动法
5.2.3 平移转动法
5.3 莫尔条纹法
5.3.1 等高莫尔法
5.3.2 莫尔测偏法
5.3.3 微电子基板三维形貌等高莫尔法测量
5.4 数字莫尔法
5.4.1 虚光栅与数字莫尔
5.4.2 数字莫尔移相
5.4.3 相位一高度变换
5.4.4 应用举例
5.5 结构光法
5.5.1 结构光法概述
5.5.2 结构光法测量原理
5.5.3 应用举例
参考文献
第六章 微观形貌测量
6.1 光探针法
6.1.1 光学探针法原理
6.1.2 光学探针法技术参数
6.1.3 光学探针法的应用
6.1.4 其他种类的光学探针法
6.2 共焦显微镜
6.2.1 共焦显微镜技术原理
6.2.2 共焦显微镜技术参数
6.2.3 共焦显微镜的改进
6.2.4 共焦显微镜的应用
6.3 白光干涉轮廓仪
6.3.1 白光干涉仪光路结构
6.3.2 白光干涉仪原理
6.3.3 白光干涉仪应用
参考文献
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內容試閱:
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测试是测量、试验和检验的总称,其基础是各种测量原理和测量仪器,并在此基础上形成测试方法和测试技术。测试技术建立在仪器技术的基础上,是我们进行科学探索和认识世界的重要手段。大量事实表明,谁掌握或者拥有最先进的测量仪器,谁就有可能做出最先进、最杰出的科研成果;强大的科技创新能力的基础,是科学仪器和测试方法的创新。
20世纪以来,随着激光技术、光波导技术、光电子技术、光纤技术、计算机技术的发展,以及傅里叶光学、现代光学、二元光学和微光学的出现和发展,光电测试技术无论从测量原理、方法还是准确性等方面都得到迅速发展,已成为测试技术新的发展方向,广泛应用于工业、农业、文教、卫生、国防、科研和家庭生活等各领域。
本书以光电被测对象为主线,较全面地介绍了光学量和几何量测量中所涉及的基本理论,主要测量原理、方法,主要测量仪器的组成及主要技术特点。
本书与常规以原理和技术为主线的写法不同,而是以应用对象为主线,将原理各不相同的测试方法联系起来,便于各方法之间的分析比较,突出将理论应用到实际中,注重对工程思维培养。
本书可作为光学工程、仪器科学与技术、电子科学与技术、信息科学与技术专业的研究生教材,亦可作为有关工程技术人员及高年级本科生的参考书。全书共分6章,第一章介绍精密测试技术的发展历史和发展方向;第二章介绍光电测试的基础理论和基本原理,包括干涉原理、激光多普勒原理、差分与斜率测量原理、三角测量原理、莫尔测量原理等;第三章介绍长度测量,包括柯氏干涉仪测长、双频干涉测长、激光多普勒技术、绝对距离测量和三角法测距;第四章介绍波前误差测量,包括移相干涉测量、同步干涉测量、哈特曼测量、位相反衍技术及波前误差拟合与处理方法;第五章介绍形貌测量,包括三角测量法、激光束偏转法、莫尔条纹法,以及结构光测量物体的表面轮廓;第六章介绍微观形貌测量,包括光学探针法、共焦显微镜法和白光干涉轮廓仪法等。
由于同一测量原理可能会用于测量多个对象,所以多个章节会重复出现同一测量原理,为避免重复讲解,并使全书的条理更清晰,本书将所用的光电测试基础理论和基本原理集中在第二章中统一介绍,化解了因按测量对象编排有可能带来的使基础测量原理分散、重复混乱的问题。对于光学基础较弱的读者,有利于补充光学基础的欠缺,对于有一定光学基础的读者也起到一个回顾和强化的作用。
本书在保留经典测量方法的同时,介绍了当代国内外主流的、代表未来发展方向的光电测量原理和仪器,如同步移相干涉测试技术等。同时也将作者多年的研究成果融入其中,如数字莫尔移相干涉非球面测试技术、激光束偏转法非球面测试技术等,使读者充分了解光电测试技术领域的学术动态和最新成果。同时,介绍了自适应光学中所应用的位相反衍技术和哈特曼波前传感技术,以丰富波前检测的方法,扩展应用范围。
本书第一章由郝群和胡摇编写,第二章由胡摇、张韶辉、王姗姗编写,第三章由张韶辉、胡摇编写,第四章由王姗姗、郝群编写,第五章由胡摇、王姗姗编写,第六章由王姗姗、胡摇编写。感谢浙江大学汪凯巍副教授的有益讨论。
由于作者水平有限,本书编排是一种新的尝试,难免有不妥之处,欢迎读者提出建设性的宝贵意见。
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