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| 編輯推薦： |
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晶圆制造系统是半导体产业链中*为复杂和昂贵的环节，先进的生产调度技术对于晶圆制造系统所产生的经济效益尤为重大，在制品水平每降低1%将减少数百万元的成本，而制造周期每缩短1%将增加数千万元的产出。本书旨在提供系统的晶圆制造并行机调度问题分析以及算法设计方法，为广大企业、科研院所、高等院校进一步深入研究晶圆制造调度问题提供理论基础，为推动晶圆制造调度技术发展和企业实际应用提供参考，对提升我国晶圆制造企业的核心技术竞争力及行业综合实力具有重要意义。本书主要面向研究者和生产管理人员，其中包括将要进行晶圆制造系统调度优化方面研究的学者，和工业界中期望寻找有效的晶圆制造系统调度方法的生产管理人员。本书也可作为机械工程、工业工程、自动化、计算机工程、管理工程等相关专业的研究生和高年级本科生的教材和参考书。
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| 內容簡介： |
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晶圆制造系统由晶圆加工系统以及晶圆物料运输系统组成，其中晶圆加工系统包括炉管区、光刻区、刻蚀区以及金属化区等，每个加工区由若干台相同加工功能的设备组成；晶圆物料运输系统由若干个加工站内物料运输系统和一个加工站间物料运输系统构成。因此，晶圆制造系统中存在着大量的并行运行设备。本书在系统全面介绍晶圆制造中的并行机调度问题和建模方法的基础上，分别介绍了光刻机调度方法、炉管区调度方法以及物料运输系统调度方法。同时介绍了晶圆制造中的并行机调度性能评价方法以及原型系统开发和应用。
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| 關於作者： |
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张洁教授长期致力于将先进制造技术与先进管理理念和IT技术密切结合的课题研究与开发，尤其在智能制造系统与大数据技术、智能信息采集系统、智能物流管理系统、智能优化算法（遗传算法、蚂蚁算法）、智能制造执行系统关键技术（cIMeS）、智能调度方法、基于大数据技术的车间性能分析与运行决策等方面进行了深入研究并取得丰硕成果。
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| 目錄：
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目录
第1章绪论
1.1半导体产业
1.1.1半导体产业的发展与现状
1.1.2未来半导体产业面临的挑战
1.2晶圆制造流程
1.2.1沉积工艺
1.2.2光刻工艺
1.2.3刻蚀工艺
1.2.4离子注入工艺
1.3晶圆制造系统的构成
1.3.1晶圆制造加工系统
1.3.2晶圆制造物料运输系统
1.4晶圆制造中的调度问题
1.4.1调度问题分类
1.4.2调度问题研究现状
1.5晶圆制造中调度的重要意义
1.6本书的主要内容安排
第2章晶圆制造中的并行机调度问题
2.1引言
2.2晶圆制造中的并行机
2.2.1晶圆制造加工系统并行机
2.2.2晶圆制造物料运输系统并行机
2.3晶圆制造中的典型并行机调度问题
2.3.1光刻机调度问题
2.3.2炉管区调度问题
2.3.3自动物料运输小车调度问题
2.4晶圆制造并行机调度问题的特点
2.5晶圆制造并行机调度算法
2.6本章小结
第3章晶圆制造并行机调度问题建模
3.1引言
3.2晶圆制造加工系统建模
3.2.1基于数学规划模型的晶圆制造加工系统建模
3.2.2基于排队论模型的晶圆加工系统建模
3.3晶圆制造运输系统建模
3.3.1基于复杂网络的晶圆制造运输系统建模
3.3.2基于马尔可夫模型的晶圆制造运输系统建模
3.3.3基于仿真模型的晶圆制造运输系统建模
3.4本章小结
第4章晶圆制造中的光刻机调度
4.1引言
4.2光刻机调度问题
4.2.1问题描述
4.2.2光刻机调度问题数学模型
4.3基于DSRPT规则的非等效并行机动态调度
4.3.1SRPT规则性能分析
4.3.2DSRPT在线调度规则设计
4.4基于递阶混合帝国竞争算法的光刻机调度算法
4.4.1时间窗口滚动策略
4.4.2编码解码策略
4.4.3递阶混合帝国竞争算法
4.5实验验证
4.5.1算法参数实验
4.5.2关键影响因子分析
4.5.3算法性能对比实验
4.6企业生产数据验证
4.7本章小结
第5章晶圆制造中的炉管区调度
5.1引言
5.2晶圆制造炉管区并行批处理机在线调度
5.2.1炉管区并行批处理机在线调度问题描述
5.2.2炉管区并行批处理在线调度问题数学模型
5.3基于调度规则的炉管区调度
5.3.1组批阶段启发式算法
5.3.2批排序阶段启发式算法
5.3.3算法流程
5.4基于混合蚁群算法的炉管区调度
5.4.1基于混合蚁群算法的并行批处理机在线调度方法架构
5.4.2混合蚁群算法
5.5仿真试验与分析
5.5.1算法参数设计
5.5.2对比实验
5.6企业生产数据验证
5.7本章小结
第6章晶圆制造中的物料运输系统调度
6.1引言
6.2晶圆制造中的整体式物料运输系统调度问题
6.2.1物料运输系统的类型
6.2.2整体式物料运输系统调度
6.3整体物料运输系统的两阶段调度方法
6.3.1OHT小车的派工方法
6.3.2运输路径动态规划方法
6.4基于蚁群算法的小车派工与路径规划集成调度方法
6.4.1小车派工与路径集成优化问题
6.4.2基于蚁群算法的OHT小车运输任务指派方法
6.4.3基于时空网络的运输路径规划方法
6.5算例验证
6.5.1蚁群算法的参数实验
6.5.2调度方法性能对比实验
6.5.3路径规划方法对调度算法性能的影响
6.6本章小结
第7章晶圆制造并行机调度性能评估
7.1引言
7.2晶圆制造并行机调度性能评价指标
7.3晶圆制造加工系统调度性能评估
7.3.1基于仿真的晶圆制造加工系统调度性能评估
7.3.2基于面向Agent的有色赋时Petri网的晶圆制造
加工系统调度性能评估
7.4晶圆制造运输系统性能评估
7.4.1基于仿真的晶圆制造物料运输系统调度性能评估
7.4.2基于Petri网模型的晶圆制造物料运输系统
调度性能评估
7.5本章小结
第8章晶圆制造调度系统并行机调度模块
8.1引言
8.2应用背景及需求分析
8.2.1应用背景
8.2.2需求分析
8.3并行机调度模块总体设计
8.3.1总体结构
8.3.2数据库设计
8.3.3用户界面设计
8.4调度模块详细设计
8.4.1基础信息管理
8.4.2车间并行机在线调度
8.4.3生产过程管理
8.5应用实例
8.5.1可重入并行机调度
8.5.2光刻机调度
8.5.3炉管区调度
8.5.4物料运输系统调度
8.6本章小结
索引
参考文献
附录A英汉排序与调度词汇
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| 內容試閱：
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丛书序言
我知道排序问题是从20世纪50年代出版的一本书名为Operations Research可能是1957年出版）的书开始的。书中讲到了Johnson的同顺序两台机器的排序问题并给出了解法。Johnson的这一结果给了我深刻的印象。第一，这个问题是从实际生活中来的。第二，这个问题有一定的难度，Johnson给出了完整的解答。第三，这个问题显然包含着许多可能的推广，因此蕴含了广阔的前景。在1960年左右，我在《英国运筹学（季刊）》（当时这是一份带有科普性质的刊物）上看到一篇文章，内容谈到三台机器的排序问题，但只涉及四个工件如何排序。这篇文章虽然很简单，但从中我也受到一些启发。我写了一篇讲稿，在中国科学院数学与系统科学研究所里做了一次通俗报告。之后我就到安徽参加四清工作。不意所里将这份报告打印出来并寄了几份给我。我寄了一份给华罗庚教授。他对这方面的研究表现出很大的支持。这是20世纪60年代前期的事，接下来便开始了文化大革命，倏忽十年。20世纪70年代初我从五七干校回京，发现国外在排序问题方面已做了不少工作，并曾在1966年开了一次国际排序问题会议，出版了一本论文集Theory of Scheduling。我与韩继业教授一道共同做了一些工作，也算得上是排序问题在我国的一个开始。想不到在秦裕瑗、林诒勋、唐国春以及许多教授的努力下，随着国际的潮流，排序问题的理论和应用在我国得到了如此蓬勃的发展，真是可喜可贺！
众所周知，在计算机如此普及的今天，一门数学分支的发展必须与生产实际相结合，才称得上走上健康的道路。一种复杂的工具从设计到生产，一项巨大复杂的工程从开始施工到完工后的处理，无不牵扯到排序问题。因此，我认为排序理论的发展是没有止境的。我很少看小说，但近来我对一本名叫《约翰克里斯托夫》的作品很感兴趣。这是罗曼罗兰写的一本名著，实际上它是以贝多芬为背景的一本传记体小说。这里面提到贝多芬的祖父和父亲都是宫廷乐队指挥，当他的父亲发现他在音乐方面是个天才的时候，便想将他培养成一个优秀的钢琴师，让他到各处去表演，可以名利双收，所以强迫他勤学苦练。但贝多芬非常反感，他认为这样的作品显示不出人的气质。由于贝多芬的如此感受，他才能谱出如《英雄交响乐》《第九交响乐》等深具人性的伟大诗篇（乐章）。我想数学也是一样。只有在人类生产中体现它的威力的时候，才能显示出数学这门学科的光辉，也才能显
示出我们作为一个数学家的骄傲。
任何一门学科，尤其是一门与生产实际有密切联系的学科，在其发展初
期，那些引发它成长的问题必然是相互分离的，甚至是互不相干的。但只要它
继续向前发展，一些问题便会综合趋于统一，处理问题的方法也会发展壮
大、深入细致，所谓根深叶茂、蔚然成林。我们的这套丛书现在有数册正
在撰写之中，主题纷呈，蔚为壮观。相信在不久以后会有不少新的著作出现，
使我们的学科呈现一片欣欣向荣、繁花似锦的局面，则是鄙人所厚望于诸君
者矣。
越民义
中国科学院数学与系统科学研究院
2019年4月
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