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內容簡介: |
将非线性动力学理论应用于MEMS系统,为工程应用提供理论依据,是作者研究课题和出版本书的初衷所在。作者结合多年研究成果,以阐述电子元器件的非线性动力学的基本概念和研究方法为主,从非线性电路入手,在非线性电容RLC串联电路的非线性动力学、RLC电路与弹簧耦合系统的非线性动力学、RLC电路与微梁耦合系统的非线性动力学等方面介绍了MEMS动力学的发展及应用。
本书可作为机械及电子相关专业本科生、研究生的教材,也可供有关技术人员参考。
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目錄:
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第1章 绪论
1.1 非线性动力学
1.2 机电耦联动力学
1.3 MEMS非线性动力学
1.4 电子元器件的非线性动力学
第2章 非线性电路
2.1 非线性电阻电路
2.2 非线性电容和非线性电感电路
2.3 非线性电路的方程
2.3.1 一阶非线性电路
2.3.2 二阶非线性电路的状态平面
2.3.3 非线性振荡电路
2.3.4 非线性机电回路方程
第3章 非线性电容犚犔犆串联电路的动力学
3.1 电容式位移传感器的动力学
3.1.1 电容式位移传感器的等效模型
3.1.2 分叉混沌共振分析
3.1.3 分岔曲线拓扑结构
3.1.4 复杂运动分析
3.2 RLC串联电路的主共振
3.2.1 RLC串联电路的振动方程
3.2.2 主共振理论分析
3.2.3 主共振数值分析
3.2.4 Simulink仿真分析
3.3 RLC串联电路的超谐共振
3.3.1 2次超谐共振
3.3.2 3次超谐共振
3.4 RLC串联电路的亚谐共振
3.4.1 1/2次亚谐共振
3.4.2 1/3次亚谐共振
第4章 犚犔犆电路与弹簧耦合动力学
4.1 线性电感系统的非线性耦合电路
4.2 非线性电感单自由度系统动力学
4.2.1 数学模型
4.2.2 主共振的动力学
4.3 非线性电感双自由度系统动力学
第5章 犚犔犆串联电路与微梁耦合动力学
5.1 RLC电路与微梁耦合系统
5.1.1 受简谐激励的斜梁的动力学
5.1.2 RLC电路与微梁耦合系统数学模型
5.2 RLC电路与微梁系统的主共振
5.2.1 主共振理论分析
5.2.2 动力学分析
5.2.3 仿真模型的建立
5.3 RLC电路与微梁系统的1/3次亚谐共振
5.3.1 动力学分析
5.3.2 仿真模型分析
参考文献
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內容試閱:
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MEMS技术是21世纪高科技市场影响未来世界的、关系到国家科技发展及国防安全和经济繁荣的关键技术,是新的高技术产业生长点,是一场新的产业革命,它将会对所有的科技领域产生冲击和影响。MEMS器件随着尺寸减小、精度提高、性能的不断改善,面临着各种需要解决的力学问题。对于各类微谐振器、微陀螺仪等,深入研究其在复杂环境下非线性振动行为以及各种动力学耦合机制,有助于MEMS器件的优化设计和应用拓宽。MEMS技术是人类科技发展过程中的一次重大技术整合,能够完成真正意义上的微小型系统集成,极大地改善人类生存方式与生活质量,也将会带动一个充满活力的产业迅速成长。
MEMS一般是指特征尺寸介于微米与毫米之间,集微型传感器、执行器以及信号处理、控制和驱动电路于一体的,自动性能高的机电耦合微型机械装置,它的学科基础涉及现代光学、微电子学、力学、热学、声学、磁学、自动控制、仿生学、材料科学、化学等领域。MEMS技术是一门多学科深度交叉融合的综合技术。MEMS动力学特性,尤其是其振动特性、非线性动力学特性、动力学设计与控制、动态测试与实验及可靠性等方面的研究尤为重要。非线性科学是研究世界的本质复杂现象的一门新科学。无线电技术促使了非线性振动理论的诞生。从实际问题中建立起来的动力学模型一般是非线性的,由于非线性因素,当系统的控制参数受干扰发生变化时,系统将产生丰富且复杂的动力学行为。
本书是作者多年科研成果的总结,以阐述电子元器件的非线性动力学的基本概念和研究方法为主,从非线性电路入手,在非线性电容RLC 串联电路的非线性动力学、RLC电路与弹簧耦合系统的非线性动力学、RLC电路与微梁耦合系统的非线性动力学等方面介绍了MEMS动力学的发展及应用。将非线性动力学理论应用于MEMS系统,为工程应用提供理论依据,是作者研究课题和出版本书的初衷所在。
本书分为5章,采用递进式论述。第1章绪论是基础准备部分,简要介绍了非线性动力学和MEMS的研究简史、MEMS研究进展和机电耦联动力学。第2章是非线性电路基本理论,也是MEMS电子元器件的基础部分,通过介绍非线性电阻、非线性电容和非线性电感、非线性电路方程,对MEMS系统知识进行了梳理,也对MEMS电子元器件非线性动力学研究的必要性进行了阐述。第3章是非线性电容RLC串联电路的动力学,首先从电容式位移传感器入手,以此推导出具有一般意义的线性电容RLC串联电路模型,对其主共振、亚谐共振和超谐共振的非线性动力学进行研究。第4章是RLC电路与弹簧耦合系统的非线性动力学,从线性电感系统的非线性耦合电路、非线性电感单自由度系统动力学和非线性电感双自由度系统动力学三个方面进行了研究。第5章是RLC电路与微梁耦合系统的非线性动力学研究,从RLC电路与微梁耦合系统的建模、分析主共振和1/3次亚谐共振的动力学进行了研究。
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