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『簡體書』光学薄膜厚度的光干涉测试方法

書城自編碼: 3427101
分類: 簡體書→大陸圖書→自然科學物理學
作者: 苏俊宏
國際書號(ISBN): 9787030623027
出版社: 科学出版社
出版日期: 2019-09-01

頁數/字數: /
釘裝: 平装胶订

售價:NT$ 617

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內容簡介:
光干涉计量测试技术是以波长为计量单位,是一种公认的高精度计量测试技术。干涉仪输出的是一幅干涉图,借助于数学物理模型,可以将干涉图与多种被测参数相联系,从而实现相关物理参数的测量。薄膜光学常数折射率、消光系数和厚度是薄膜设计和制备所必需的重要参数,其受制备工艺的影响不同而不同,因此要制备性能稳定的薄膜器件,提高生产制备的成品率,就必须精确地检测出各种制备工艺下薄膜器件的光学常数和厚度值。在国家国际

 

 

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