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內容簡介: |
本书涉及半导体器件、半导体工艺、集成电路、微型机电系统(MEMS)等微电子技术的基础知识,旨在逐步提高学生的阅读、理解和翻译微电子技术专业书刊资料的能力,为学生今后能够以英语为工具,获取和交流专业技术信息打下较好的基础。 本书注重选用不同类型的各种资料,有教材、科普资料、设备说明书等,并附上了很多插图,力求达到较好的教学效果。
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目錄:
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Unit 1 A Brief Introduce to Microelectronic Technology 1 1.1 History About Microelectronics 1 Text 1 Technical words and Phrases 2 Notes to the text 3 Exercises 3 1.2 Introduction To Some Courses 5 Text 5 Technical words and Phrases 6 Notes to the text 7 Exercises 7 1.3 Reading Materials 8 1.4 Unit Exercises 10 Unit 2 Semiconductor Device 18 2.1 Semiconductor Diode 18 Text 18 Technical words and Phrases 22 Notes to the text 23 Exercises 23 2.2 Transistors 24 Text 25 Technical words and phrases 27 Notes to the text 28 Exercises 28 2.3 Microwave and Photonic devices 30 Text 30 Technical words and Phrases 34 Notes to the text 35 Exercises 35 2.4 Reading Materials 37 2.5 Unit Exercises 39 Unit 3 Micro-electronic Technology 43 3.1 Crystal Growth 43 Text 43 Technical words and Phrases 44 Notes to the text 45 Exercises 45 3.2 Film Growth 46 Text 46 Technical words and Phrases 47 Exercises 48 3.3 Photolithography 48 Text 49 Technical words and Phrases 50 Exercises 50 3.4 Oxide Growth 51 Text 51 Technical words and Phrases 53 Exercises 53 3.5 Diffusion and Ion Implantation 54 Text 54 Technical words and Phrases 56 Notes to the text 57 Exercises 57 3.6 Etching 58 Text 58 Technical words and Phrases 60 Notes to the text 60 Exercises 61 3.7 Reading Material 61 3.8 Unit Exercises 64 Unit 4 Integrated Circuits 67 4.1 Introduction of Integrated Circuits 67 Text 67 Technical words and Phrases 71 Notes to the text 72 Exercises 72 4.2 Integrated circuit design and verification 74 Text 74 Technical words and Phrases 79 Notes to the text 80 Exercises 80 4.3 Introduction of Cadence Tools 81 Text 81 Technical words and Phrases 94 Notes to the text 95 Exercises 95 4.4 Reading Materials 96 4.5 Unit Exercises 99 Unit 5 Microelectronic Mechanical Systems MEMS 104 5.1 Introduction to MEMS 104 Text 104 Technical words and Phrases 106 Notes to the text 107 Exercises 107 5.2 Materials for MEMS 108 Text 108 Technical words and Phrases 111 Notes to the text 111 Exercises 111 5.3 Processes for Micromachining 113 Text 113 Technical words and Phrases 116 Notes to the text 116 Exercises 116 5.4 Reading Materials 118 5.5 Unit Exercises 119 Unit 6 Scientific and Technological Papers 123 6.1 Film Thickness Tester 123 Text 123 Technical words and Phrases 128 Notes to the text 129 Exercises 129 6.2 WL13A0G10 Test System Option Manual 130 Text 130 Technical words and Phrases 133 Notes to the text 133 Exercises 134 6.3 Reading Materials 134 6.4 Unit Exercises 137 Appendix Technical Vocabulary 141 Reference 151
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內容試閱:
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专业英语的教学目的是为了指导学生阅读与自己专业相关的英语书刊和科技资料,使学生能以英语为工具,获取更多与专业相关的信息。 微电子技术是随着集成电路,尤其是超大规模集成电路而发展起来的一门新的技术。微电子技术包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术,微电子技术是微电子学中的各项工艺技术的总和。微电子学是一门发展极为迅速的学科,高集成度、低功耗、高性能、高可靠性是微电子学发展的方向。本书的教学对象是高等院校和高等职业院校微电子专业的学生,也可作为其他电类专业学生的参考书。 本书内容分为6个单元。第1单元为微电子技术介绍。第2单元为半导体器件,主要内容包括双极型器件、MOS器件、微波与光电子器件。第3单元为半导体工艺,主要内容包括晶体生长、薄膜生长、光刻、腐蚀、扩散、注入等基本半导体工艺,双极型集成电路工艺,MOS集成电路工艺。第4单元为集成电路设计,主要内容包括设计方法、设计工具、综合与仿真。第5单元为MEMS,主要内容包括MEMS概念与特点,MEMS工艺、器件与材料等。第6单元为科技文献范例,主要介绍实际微电子设备的操作方法。 本书由无锡职业技术学院王波、谈向萍任主编,平毅、吴孔培也参与了编写。其中平毅编写第3单元,吴孔培编写第5单元,谈向萍编写第6单元,王波编写第1、2、4单元及附录。全书由王波、谈向萍统稿。 无锡职业技术学院肖国玲主审了本书,并提出宝贵意见,编者在此表示衷心的感谢。书中内容力求选材精良,为了有利于教学和阅读理解、帮助学生更好地理解原文,每章后面给出了主要专业词汇及难句注释,并在全书后面列出了有关参考文献。在此,对这些参考文献的作者和出版单位表示感谢。 由于水平有限,书中不足之处在所难免,敬请读者批评指正。 编者 2011年2月
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