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內容簡介： 《金刚石膜 备与物性研究及应用》系统 研究了直流热阴 辉光等离子体辅助化学气象沉积金刚石膜的过程中，温度、压强、甲烷氢气流量 等实验参数对金刚石膜形貌、晶体结构 质量的影响；以甲烷、氢气为工作气体，研究低温低压下纳米金刚石膜的 备；探 向甲烷、氢气气氛中通入不同流量的、氮气、氩气对沉积金刚石膜的表面形貌、结构、晶面取向及导 性能的影响，并以为氮掺杂源，通过改变氩气氢气流量备高导 的纳米金刚石膜。 《金刚石膜 备与物性研究及应用》可供从事金刚石膜 备的学者 其他从事材料研究的技*人员阅读，也可作为相关 业高等院校的本科生、研究生使用 参考。

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