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| 內容簡介： |
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《tio2纳米层壳结构薄膜氧传感器》采用纳米tio2球壳薄膜作为敏感薄膜利用sitio2异质结构的优良电学特性设计pn结衬底电极tio2氧传感器。制备完成的tio2纳米球壳直径在250nm左右，结构完整。能够满足提高被测气体的表面吸附，获得优良的气体灵敏度的结构特点。《tio2纳米层壳结构薄膜氧传感器》讨论了采用mems技术和cmos工艺相结合制作的ti02纳米层壳结构薄膜氧传感器，该传感器可利用异质结构电传输及纳米球壳的纳米效应实现o2检测。
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| 目錄：
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第1章?气体传感器研究概述
1.1?半导体气体传感器简介
1.2?宽禁带TiO2纳米半导体材料
1.3?国内外TiO2气体传感器的研究进展
1.4?研究的目的及意义
第2章?薄膜特性分析与Si／TiO2异质结构的能带
2.1?TiO2的晶格结构
2.2?氧传感器的薄膜敏感原理
2.3?薄膜表面空间电场、有效空间电荷层厚度dx的相关计算（一维近似）
2.4?Si和TiO2中载流子统计分布情况及能带结构
2.5?Si／TiO2异质结构的能带图
第3章?TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器结构设计及传输机制
3.1?氧传感器的基本结构
3.2?TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器制作工艺
3.3?宽禁带半导体气体传感器电流传输特性与机制
3.4?TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器电流传输特性与机制
第4章?TiO2纳米层壳结构薄膜的制备
4.1?W-TiO2薄膜的制备与分析
4.2?Pt-TiO2薄膜的制备与分析
4.3?TiO2纳米球壳的制备与分析
4.4?TiO2纳米层壳结构薄膜的TEM与sEM分析
第5章?氧传感器性能的测定与分析
5.1?工作温度对基准电流的影响
5.2?环境湿度对基准电流的影响
5.3?输出曲线的测量
5.4?选择性
5.5?响应一恢复时间
参考文献
后记
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