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編輯推薦： "《旋转载体用硅微机械振动陀螺》介绍了研制一种全新的硅微机械陀螺的过程!该陀螺具有设计新 颖""结构简单""重量轻""成本低等优点，适用于敏感旋转载体的偏航或俯仰角速率。" 內容簡介： 本书由浅入深从一般陀螺开始，介绍了振动陀螺、旋转载体用硅微机械振动陀螺等工作原理；重点解说了旋转载体用硅微机械振动陀螺的动力学行为、敏感元件结构，力学参数、性能仿真、信号采集，以及处理、敏感头的工艺制作过程和单轴性能测试。 關於作者： 王宏伟 男，1967年9月出生，籍贯内蒙古；物理电子学博士，副教授，硕士生导师；研究方向为力学传感器；现任职北京信息科技大学。 目錄： "第一章综述 11MEMS概述 12微机械陀螺概述 13本书研究内容 第二章旋转载体用硅微机械陀螺的数学模型 21硅微机械陀螺工作原理 22质量运动的数学模型 23误差分析 第三章陀螺力学参数计算 31微机械陀螺硅振动元件结构 32硅质量的转动惯量 33硅振动元件弹性梁的力学分析与计算 34硅振动元件的振动阻尼 第四章电容敏感 41电容敏感 42静电吸合 第五章陀螺力学性能分析 51载体旋转角速率对输出信号的影响 52固有频率、阻尼比和相位角 53温度对阻尼系数的影响 54有限元分析和仿真 第六章信号检测电路 61电路组成 62电路分析 63电路的温度误差 第七章硅振动元件制作工艺 71湿法腐蚀 72硅振动元件加工工艺流程 73工艺详细步骤 第八章陀螺部件的制作及整体封装 81陀螺结构组成 82陶瓷极板的制作 83“三明治”敏感元件的粘接 84敏感元件与外壳底座的粘接及电极引线的焊接 85外壳底座与外壳盖的粘接 86外壳的封接 第九章陀螺性能测试 91陀螺常温性能的测试 92理论计算与实验结果比较 93理论计算与实验结果的误差分析 参考文献 〖＝（〗121020232324333737394148595966717175778087879199107107109110121121124129131132133137137141142147〖＝〗 "

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