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『簡體書』MEMS材料与工艺手册

書城自編碼: 2412188
分類: 簡體書→大陸圖書→工業技術電子/通信
作者: [美]格迪斯,[美]林斌彦 著,黄庆安 等译
國際書號(ISBN): 9787564140533
出版社: 东南大学出版社
出版日期: 2014-03-01
版次: 1 印次: 1
頁數/字數: 966/1192000
書度/開本: 16开 釘裝: 平装

售價:NT$ 1782

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內容簡介:
微机电系统MEMS技术是一个快速发展的前沿技术领域,使用的材料种类多、工艺方法复杂,需要系统地归纳、分析与整理,以便于读者查阅。《MEMS材料与工艺手册》由利萨·格迪斯著,内容包括MEMS材料,MEMS加工工艺和制造工艺,MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。本手册适合相关专业高年级本科生、研究生及工程科研技术人员阅读和参考。
目錄
1 MEMS设计流程
2 半导体和介质材料的添加工艺
3 金属材料的添加工艺
4 聚合物材料的添加工艺
5 压电材料的添加工艺:压电MEMS
6 形状记忆合金材料与工艺
7 微机械加工中的干法刻蚀
8 MEMS湿法腐蚀工艺和过程
9 MEMS光刻和微加工技术
10 MEMS中的掺杂工艺
11 圆片键合
12 MEMS封装材料
13 表面处理及平坦化
14 MEMS工艺集成

 

 

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