东南大学原南京工学院本科毕业1981，并获该校硕士1984和博士1988学位。11989年受英国国家科学与工程研究委员会访问研究基金资助SERC
Visiting
Fellowship，到英国剑桥大学微电子研究中心做博士后研究。1993年到英国卢瑟福国家实验室微结构中心做高级研究员，1999年以来任微纳米技术首席科学家Principal
Scientist，曾任微系统技术中心负责人，现负责微纳米技术的工程应用Group
Leader。十多年来先后参加了8项欧洲共同体联合研究项目，并担任其中两个项目的主持人。任欧洲微机电／微光机电设计、测试、集成与封装年会的程序委员会委员，国际微纳光刻、微机电与微光机电系统杂志Journal
of Micro／Nanolithography，MEMS and
MOEMS编委，欧洲第七框架研究计划纳米技术分计划的评审专家，英国国家科研项目评审专家，并应邀为多种学术杂志评审论文；英国物理学会会员，英国工程技术学会IET资深会员Fellow。1994年以来开始与国内开展合作，先后受聘为国内多家科研单位与大学的客座研究员、客座教授。先后4次受王宽诚科研奖金资助回国进行合作研究与讲学。2001年以来，先后主持了两项由英国皇家学会资助的中一英联合研究项目。2002年受聘为中国科学院海外评审专家。2004年获中国科学院海外杰出学者B类基金。2007年参加中国科学院物理研究所纳米电子材料与器件海外合作团队。先后独立与合作发表学术论文190余篇。2005年出版中文专著《微纳米加工技术及其应用》高等教育出版社，2006年出版该书的英文版《Micro-Nanofabrication
Technologies and
Applications》，2008年出版英文专著《Nanofabrication：Principles，Capabilities
and Limits》Springer。
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