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『簡體書』薄膜材料科学(第2版)

書城自編碼: 2053903
分類: 簡體書→大陸圖書→工業技術一般工业技术
作者: [美]奥林
國際書號(ISBN): 9787118081442
出版社: 国防工业出版社
出版日期: 2013-02-01
版次: 1 印次: 1
頁數/字數: 484/716000
書度/開本: 16开 釘裝: 平装

售價:NT$ 1748

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《 薄膜材料-应力,缺陷的形成和表面演化 》
內容簡介:
《薄膜材料科学第2版》详细介绍了涉及薄膜材料科学的各个方面,内容包括真空技术、薄膜沉积技术与原子过程、薄膜的结构与性能表征等。本书内容广泛,资料全面,各章后面附有习题,是一本真正意义上的薄膜科学与技术的教科书。该书自1992年第1版问市以来,深受材料科学界的广泛欢迎。非常适用于从事薄膜材料研究的专业研究人员、材料类院系高年级本科生和研究生作教材或参考书。本书由中国科学院物理研究所研究员曹则贤先生特别推荐。
目錄
第1章 材料科学基础
第2章 真空科学与技术
第3章 薄膜热蒸发过程
第4章 放电、等离子体、离子与表面的相互作用
第5章 薄膜制备的等离子体与离子束工艺
第6章 化学气相沉积
第7章 基底表面与薄膜成核
第8章 外延生长
第9章 薄膜结构
第10章 薄膜及表面的特性
第11章 薄膜内的互扩散、反应和相变
第12章 薄膜的力学性能
习题
附录

 

 

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