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內容簡介: |
《电子与光子材料手册第3册电子材料影印版》由Safa Kasap、Peter
Capper主编,是一部关于电子和光子材料的综合论述专著,每一章都是由该领域的专家编写的。本手册针对于大学四年级学生或研究生、研究人员和工作在电子、光电子、光子材料领域的专业人员。书中提供了必要的背景知识和内容广泛的更新知识。每一章都有对内容的一个介绍,并且有许多清晰的说明和大量参考文献。清晰的解释和说明使手册对所有层次的研究者有很大的帮助。所有的章节内容都尽可能独立。既有基础又有前沿的章节内容将吸引不同背景的读者。本手册特别重要的一个特点就是跨学科。例如,将会有这样一些读者,其背景第一学历是学化学工程的,工作在半导体工艺线上,而想要学习半导体物理的基础知识;第一学历是物理学的另外一些读者需要尽快更新材料科学的新概念,例如,液相外延等。只要可能,本手册尽量避免采用复杂的数学公式,论述将以半定量的形式给出。手册给出了名词术语表Glossary
of Defining Terms,可为读者提供术语定义的快速查找——这对跨学科工具书来说是必须的。
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目錄:
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缩略语
Part C 电子材料
21 单晶硅:电学与光学特性
21.1 硅基
21.2 电学特性
21.3 光学特性
参考文献
22 硅-锗:特性、生长和应用
22.1 硅-锗物理特性
22.2 硅-锗光学特性
22.3 硅-锗生长
22.4 多晶硅-锗
参考文献
23 砷化镓
23.1 GaAs的体生长
23.2 GaAs的外延生长
23.3 GaAs的扩散
23.4 GaAs离子注入
23.5 GaAs晶格缺陷
23.6 GaAs的杂质与缺陷分析化学
23.7 GaAs~勺杂质与缺陷分析电学
23.8 GaAs的杂质与缺陷分析光学
23.9 复杂异质结的评估
23.10 GaAs的电接触
23.11 GaAs器件微波
23.12 GaAs器件电一光
23.13 GaAs的其他应用
23.14 结论
参考文献
24 高温电子材料:碳化硅与金刚石
24.1 材料的特性与制备
24.2 电子器件
24.3 总结
参考文献
25 非晶态半导体:结构、光学与电学特性
25.1 电子态
25.2 结构特性
25.3 光学特性
25.4 电学特性
25.5 光诱导现象
25.6 纳米非晶态结构
参考文献
26 非晶态与微晶硅
26.1 等离子体SiH4与SiH4H2的反应
26.2 表面薄生长
26.3 a—Si:H与uc—Si:H缺陷密度测定
26.4 器件应用
26.5 硅薄膜太阳能电池材料的相关问题研究进展
26.6 总结
参考文献
27 铁电体材料
27.1 铁电体材料
27.2 铁电体材料制备技术
27.3 铁电体应用
参考文献
28 微电子电介质材料
28.1 栅极电介质
28.2 隔离电介质
28.3 电容电介质
28.4 互连电介质
28.5 总结
参考文献
29 薄膜
29.1 淀积形成方法
29.2 结构
29.3 特性
29.4 结论
参考文献
30 厚膜
30.1 厚膜工艺
30.2 衬底
30.3 厚膜材料
30.4 组件与装配
30.5 传感器
参考文献
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